公开/公告号CN202886053U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 南京盛业达电子有限公司;
申请/专利号CN201220567925.0
发明设计人 高峰;
申请日2012-10-31
分类号
代理机构北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曾少丽
地址 211161 江苏省南京市江宁滨江开发区春阳路
入库时间 2022-08-21 23:45:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L9/06 授权公告日:20130417 终止日期:20181031 申请日:20121031
专利权的终止
2013-04-17
授权
授权
机译: 硅膜压阻式压力传感器及其制造方法
机译: 微机械压力传感器具有重叠的相邻外延单晶硅和多晶硅区域,从而能够以压阻方式测量压力引起的膜波动
机译: 压阻式绝对压力传感器-在压力传感器中安装了柔性硅集成电路电阻器