MEMS; diaphragm; piezoresistive; pressure sensor; stress;
机译:基于MEMS压阻式压力传感器的硅隔膜的应力与频率分析
机译:压敏电阻的尺寸和位置对绝缘体上硅压敏压力传感器灵敏度的影响
机译:高敏感的石墨烯压阻MEMS压力传感器通过在硅隔膜中的杆梁整合进行低压测量应用
机译:基于隔膜几何和压阻尺寸的硅压阻压力传感器性能分析
机译:基于硅纳米线化学传感器的几何形状和工作温度的灵敏度分析。
机译:基于硅纳米线压敏电阻的高信噪比高灵敏度SOI压力传感器的设计优化与制造
机译:膜片不同的NEMS压阻硅纳米线压力传感器的特性
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器。