基于积分分离数字PID控制的超精密定位系统的设计

摘要

作为精密加工工业的基础,超精密定位技术已经成为高精度加工的关键环节之一.本文设计了集位移数据采集、处理、控制于一体的超精密定位系统.在阐述了PID控制算法的一般原理基础上,采用了一种基于积分分离数字PID的控制算法,实现了对超精密定位系统的闭环控制.