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目录
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 研究背景及意义
1.3 国内外大行程纳米级定位系统的研究现状
1.4 国内外衍射光栅干涉测量系统的研究现状
1.5 研究内容和结构安排
第二章 光栅干涉相位移动扫描位移测量机理
2.1 概述
2.2 光栅干涉相位移动扫描位移测量基本原理
2.3 本章小结
第三章 基于干涉相位移动扫描的超精密定位测量系统
3.1 引言
3.2 光栅干涉测量系统的设计原则
3.3 光栅干涉测量系统
3.4 条纹移相系统
3.5 精密定位运动系统
3.6 信号采集系统
3.7 本章小结
第四章 超精密定位控制系统设计及其测控软件实现
4.1 控制系统设计
4.2 定位过程分析
4.3 控制系统的软件实现
4.4 控制系统软件设计
4.5 本章小结
第五章 基于光栅干涉相位移动扫描方法的超精密定位测量系统性能实验与误差分析
5.1 引言
5.2 精密定位实验台的搭建
5.3 精密定位系统实验研究
5.4 实验结果与误差分析
5.5 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 全文总结
6.2 创新点
6.3 展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文
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