退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
张一鸣;
无;
等离子体; CVD; 薄膜; 半导体; 制备;
机译:通过ECR等离子体CVD技术在部分氧化的衬底上选择性生长硅
机译:具有ECR等离子体MOCVD(Ba,Sr)TiO / sub 3 /和RuO / sub 2 // Ru / TiN / TiSi / sub x /存储节点的堆叠电容器技术,用于Gb级DRAM
机译:ECR-PECVD反应室内ECR等离子体密度的空间分布
机译:使用ECR等离子体CVD在没有基底加热的ECR等离子CVD上的高度紧张SI的外延生长
机译:通过热线和ECR-等离子CVD技术制备的纳米晶硅薄膜太阳能电池的结构和电子性能。
机译:在没有基板加热的情况下通过ECR Ar等离子增强CVD生长的掺杂B原子层的Si薄膜的载流子特性
机译:ECR等离子体CVD的当前技术。
机译:用ECR-pECVD技术高效生长水解非晶硅锗薄膜和器件
机译:使用缝隙天线的碳纳米管薄膜沉积ECR等离子体CVD系统及沉积相同薄膜的方法
机译:ECR等离子体CVD装置及使用该半导体装置的半导体装置的制造方法无效
机译:ECR微波等离子体CVD设备
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。