机译:ECR-PECVD反应室内ECR等离子体密度的空间分布
School of Physics and Communication Engineering, South China Normal University, Guangzhou 510631, China;
ECR plasma; plasma density; spatial distribution; radial uniformity;
机译:发散型ECR-PECVD系统中空间等离子体分布的表征
机译:ECR-PECVD反应室中DLC膜流场的数值研究
机译:热和粒子通量的非局部性对两腔感应耦合等离子体源中等离子体密度空间分布的影响
机译:高压磁控溅射等离子体中氩亚稳原子密度的时空分布
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:使用强短脉冲激光为接近固体密度的核反应生成keV离子分布
机译:直接不对称测量温度和密度空间 来自针孔的惯性约束聚变等离子体中的分布 空间分辨光谱
机译:利用微波法布里 - 珀罗谐振器获得最小B等离子体空间电子密度分布的技术研究。