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ECR等离子体源和ECR等离子体装置

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本发明的ECR等离子体源由在与等离子体流垂直的面内有大致矩形截面的等离子体生成室(10)；在与等离子体流垂直的面内卷绕成大致矩形的磁性线圈(20、21)；和端部为终端的直接导入方式或分支结合导入方式的导波管(30)或微波空洞共振器构成。将微波从设置在该导波管(30)或微波空洞共振器内部的与微波同相部相当的侧面上的多个开口部(34)，传送到等离子体生成室(10)内。另外，ECR等离子体装置中具有所述ECR等离子体源，还具有移动大型试料用的试料移动机构。

著录项

公开/公告号CN100348078C

专利类型发明授权
公开/公告日2007-11-07

原文格式PDF
申请/专利权人 NTTAFTY工程株式会社;
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申请/专利号CN03807747.7
发明设计人松尾诚太郎;野崎俊行;田中富三男;
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申请日2003-04-09
分类号H05H1/46(20060101);H01L21/3065(20060101);H01L21/205(20060101);C23C14/22(20060101);C23C16/511(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:59:38

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-11-26

专利权的转移 IPC(主分类):H05H 1/46 变更前: 变更后: 登记生效日:20141027 申请日:20030409

专利申请权、专利权的转移
2011-05-11

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更前: 变更后: 申请日:20030409

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2007-11-07

授权

授权
2005-09-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-07-27

公开

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