Электронная температура плазмы в источнике кальциевой плазмы на основе ЭЦР-разряда в парах

摘要

Предложена ме+одика оценки электронной температуры плазмы в источнике на основе ЭЦР-разряда. Расчеты проведены для кальциевой плазмы применительно к процессу разделения изотопов методом ИЦР. Линейно-поляризованное излучение гиротрона заведено со стороны сильного поля. Предположено, что условие резонанса в случае необыкновенной волны реализуется для малой доли резонансных электронов, движущихся навстречу волне. На основе предположения о малости степени ионизации среды выполнены расчеты продольной электронной температуры плазмы и оценки концентрации резонансных и нерезонансных электронов.