公开/公告号CN1849690A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-10-18
原文格式PDF
申请/专利权人 德国罗特·劳股份有限公司;
申请/专利号CN200480025713.8
申请日2004-09-08
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张兆东
地址 德国霍恩施泰因-恩斯塔尔
入库时间 2023-12-17 17:51:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-19
授权
授权
2006-12-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-10-18
公开
公开
机译: 具有线性等离子体的ecr等离子体源 u00f6ffnung
机译: 电子回旋共振(ECR)等离子体源具有线性等离子体放电口
机译: 具有线性等离子体的ecr等离子体源 u00f6ffnung