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甘德昌;
无;
注入窗; 微波; 永磁体; 等离子体源; ECR;
机译:用于等离子体浸没离子注入和沉积工艺的微波ECR等离子体源的改进
机译:在高真空条件下通过微波ECR等离子体源离子注入同步增强的磁控溅射沉积在金属基板上合成陶瓷膜
机译:具有可扩展ECR大面积等离子体源的高密度等离子体浸没离子注入机的特性
机译:微波ECR等离子体源增强的RF反应磁控溅射沉积用于电绝缘应用的致密SiO2薄膜
机译:设计用于材料加工的紧凑型ECR等离子体源的表征和建模。
机译:具有可调电磁性能的片状FeSiAl合金-碳纳米管复合材料用于微波吸收
机译:具有有限磁性层的磁性/非磁性界面上的自旋注入
机译:用于中性束注入系统的微波等离子体源。季度技术进步报告。
机译:用于离子束图形和注入的小锥型微波ECR等离子体源
机译:用于处理和注入离子束的小锥型微波ECR等离子体源
机译:ECR等离子体源同轴共振多端口微波辐射器
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