一种宽量程MEMS组合加速度计的设计与优化

摘要

为满足大量程低温漂的MEMS加速度计性能需求,研制了一款宽量程MEMS组合加速度计,并完成了量程、线性度、交叉耦合、分辨率性能参数的测试.针对加速度计在高低温工作环境中的零漂过大的问题,分析了影响因素,设计了一种零位温度补偿算法给出解决方案.实验结果表明:零位温度补偿算法实现了加速度计在-45～+85°C温度范围内零点漂移小于3 mV,满足项目需求.