一种多量程的MEMS闭环加速度计

摘要

本发明公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多个可动平衡梳齿；多个固定平衡梳齿与多个可动平衡梳齿分别组成4组平衡梳齿对，分别构成：第一静电力矩器、第二静电力矩器、第三静电力矩器，可实现小中高多量程的应用，线性度好，灵敏度高，芯片尺寸小，易加工，制造成本低的技术效果。