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徐向阳; 张伟;
北京信息科技大学 传感器重点实验室 北京 100101;
加速度计; 车载MEMS; 芯片稳定性; 转换器精度; 温度偏移; 测量精度; 对照实验;
机译:基于曲面微机械的全差压电容性MEMS加速度计的设计与优化
机译:MEMS差压传感器宽量程,在低压范围内具有出色的灵敏度和重现性
机译:袖珍型测量装置:高精度,数据存储,宽量程-专业的温度和湿度测量装置
机译:具有宽感应范围的高精度开环和闭环MEMS加速度计
机译:一种基于电气测试(BIST)电路的电气刺激,用于电容MEMS加速度计
机译:一种集成的金膜温度传感器用于高精度MEMS加速度计的原位温度测量
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机译:升力面,理论宽比更正电梯和Hinge-矩参数满量程立面图上水平尾翼面
机译:摆式摆式宽量程加速度计的尺度系数线性度的提供方法
机译:利用SOI晶片和加速度计制造高精度MEMS惯性传感器的方法
机译:具有高精度和低灵敏度的MEMS加速度计
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