MEMS差圧センサー広い計測範囲低圧力域で優れた感度、再現性

摘要

オムロンほ、熱式MEMSフローセンサーチップを用いた「MEMS差圧センサー」を開発し、販売を開始した。従来方式の差圧センサーに比べ計測範囲が広く、低圧力域での感度、再現性に優れる。エネルギー監視ゃキメ細かな制御が求められているBEMS、HEMS、医療機器などの流量計測用に供給する。生産工場はオムロン野洲事業所(滋賀県野洲巿)。14年度3億円の売上げを見込んでいる。新開発のMEMS差圧センサーは、独自の熱フロー方式を採用することで一般的に使用されている静電容量方式やピエゾ方式などの差圧センサーに比べて計測範囲が広く、低圧力域での感度、再現性を高めた。また、内蔵ASICで直線補正、温度補正のデジタル補正を行い、これまでのアナログ出力タイプで実現できなかった高精度、温度影響を低減した差圧計測を可能にした。デジタル補正アルゴリズムによって3%R•D•の高精度を実現。制御効率を最適化した。