大直径区熔硅单晶的研究与制备技术探究

摘要

随着我国科学技术的不断发展，电力电子器件也取得了飞跃的进步，在一些半导体器件的研究过程中硅单晶起着重要的作用，因此高反压与大电流的器件对硅单晶的质量有一些要求，如：直径大、无位错、电阻率径向均匀等，同时为了提高器件的实收率，还要求硅单晶有承受压力的特点，研究大直径区熔硅单晶十分必要，对提高整个产品的效率以及降低成本方面都有很大的作用。本文就对大直径区熔硅单晶的研究过程以及其设备技术问题进行具体的分析。