ИЗМЕРЕНИЕ ДИАМЕТРА МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССЕ ЕГО ВЫРАЩИВАНИЯ ИЗ РАСПЛАВА

摘要

Исследуется проблема контроля диаметров кристаллов при их выращивании по методу Чохральского. Анализируется изображение зоны мениска,в которой происходит кристаллизация. Определяются информативные параметры для нахождения диаметров кристаллов. Описывается алгоритм вычисления диаметра мениска, применяемого для регулирования процесса роста кристалла. Приводятся результаты работы датчика, использующего предложенный алгоритм, при выращивании реальных кристаллов.