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翁惠民; 黄千峰;
中国科学技术大学;
慢正电子; 缺陷; 离子注入; 退火; 砷离子; 硅(100);
机译:低能Si-5(-)和Cs-注入引起的Si(100)非晶化效应的研究
机译:硅上的SiC纳米巨石-注入低能〜(13)C并随后电子束退火的(100)硅的核反应分析研究
机译:结合MEIS / TEM研究高剂量100 keV Si离子注入的Si中的结构缺陷
机译:通过低能量氧注入到在Si 100上生长的厚假晶SiGe中创建的绝缘体上SiGe衬底
机译:Si(100)的光学二次谐波产生对过程定制表面和嵌入Ag纳米结构的研究,用于先进的Si非线性纳米运动
机译:超低能大剂量硼注入Si(110)的化学状态和原子结构演变
机译:在ag-si共晶点以下的温度下多次注入低能ag离子和后热退火后si(100)中形成的ag纳米团簇的结构和光学性质的研究
机译:研究超低能量100-2000 eV的轻核之间的相互作用(项目'LEsI')
机译:Si100 / Si111硅蚀刻剂组合物表现出低Si100 / Si111选择性和低碳化硅蚀刻速率
机译:立方半导体(100)晶圆中sigma = 3双缺陷的X射线衍射(XRD)表征方法
机译:立方半导体(100)晶圆中Sigma = 3双缺陷的X射线衍射(XRD)表征方法
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