公开/公告号CN102832153A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-19
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201210335261.X
申请日2012-09-11
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陆花
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
入库时间 2023-12-18 07:46:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/66 申请公布日:20121219 申请日:20120911
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20120911
实质审查的生效
2012-12-19
公开
公开
机译: 训练有素的模型生成方法,培训型号,表面缺陷检测方法,钢材制造方法,通过/失效判断方法,等级判断方法,表面缺陷判断计划,通过/失败判断计划,判断系统和钢材制造设备。
机译: 用于检测到的图案的凸度/凹度判断装置,凸度/凹度判断方法,图案缺陷判断装置和图案缺陷判断方法
机译: 记录存储段控制程序中或存储记录段控制程序中的存储段控制设备,存储段控制系统和计算机可读记录介质