高能(Mev)As+离子注入硅{113}缺陷的HREM研究

摘要

高能（Ｍｅｖ）Ａｓ￣＋离子注入硅｛１１３｝缺陷的ＨＲＥＭ研究朱健民，李齐，蒋冬梅（南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京　２１０００８）｛１１３｝缺陷是在硅、锗等材料中发生于｛１１３｝面上的一种面缺陷，曾在以下硅（锗）材料中观测到：１）热退火后的...