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王学超; 汪健如;
清华大学电子工程系;
北京1000084;
聚焦离子束; 无掩模刻蚀; 微细加工; 半导体器件;
机译:通过Ga聚焦离子束刻蚀无掩模制备纳米间隙电极
机译:KOH水溶液中无掩模无掩模刻蚀形成凸角底切的研究
机译:聚焦离子束注入与湿法刻蚀相结合的氧化铝掩模制造
机译:用Ga〜+聚焦离子束在GaAs衬底上形成掩模以进行等离子体化学刻蚀
机译:通过聚焦离子束无掩模制造结型场效应晶体管。
机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiNx薄膜的制备
机译:通过聚焦离子束注入和湿法刻蚀制造氧化铝硬掩模
机译:强隧道内隧道阻力对聚焦离子束刻蚀制备单电子晶体管电导的影响2。会议文件
机译:太阳能电池的刻印方法,包括在基板上形成刻蚀掩模并进行刻蚀工艺,以及通过刻蚀掩模在基板上形成凸起的标记结构
机译:在硅晶片上形成穿孔-通过在两侧刻蚀掩模,在一个掩模层中形成所需尺寸的孔,在另一个掩模层中形成较大的孔,然后从两侧进行刻蚀
机译:无掩模曝光装置,无掩模曝光方法以及由该无掩模曝光装置和无掩模曝光方法制造的显示基板
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