机译:聚焦离子束注入与湿法刻蚀相结合的氧化铝掩模制造
机译:聚焦离子束注入与湿法刻蚀相结合的氧化铝掩模制造
机译:通过各向异性湿法刻蚀和聚焦离子束技术制造的亚微米级荫罩,用于特高压中的纳米加工
机译:Ga +聚焦离子束注入诱导的ZnO膜H 2刻蚀掩模
机译:通过聚焦氦离子束照射增强湿法蚀刻氮化硅膜中纳米孔的制造
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:结合聚焦的电子束诱导的沉积和蚀刻用于致密线的图案化而不互连材料
机译:通过聚焦离子束注入和湿法刻蚀制造氧化铝硬掩模
机译:聚焦离子束注入和湿法刻蚀制备可见光致发光si微结构