退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
聂磊; 史铁林; 廖广兰; 钟飞;
华中科技大学微系统中心;
湖北工业大学;
铬; 掩模; 湿法刻蚀;
机译:用于硅的各向异性湿法刻蚀的旋涂式光敏聚合物刻蚀保护掩模
机译:碘过饱和KOH溶液中的无掩模湿法刻蚀硅
机译:改进的各向异性湿法刻蚀工艺,用于使用单个刻蚀掩模制造硅膜结构
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:氢氧化四甲铵/异丙醇湿法刻蚀对AFM光刻制备的硅纳米线的几何形状和表面粗糙度的影响
机译:通过湿法和干法蚀刻铬掩模进行图案转移制备锂铌酸盐中的光子晶体。
机译:在硅晶片上形成穿孔-通过在两侧刻蚀掩模,在一个掩模层中形成所需尺寸的孔,在另一个掩模层中形成较大的孔,然后从两侧进行刻蚀
机译:硅晶片的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置
机译:一种在湿法刻蚀和湿法刻蚀过程中以相同形状提高刻蚀速度的方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。