核化密度对硅上生长异质外延金刚石膜的影响

摘要

本文利用扫描电子显微镜及Ｒａｍａｎ谱等研究了Ｓｉ（１００）上异质外延金刚石膜的生长，金刚石膜是由微波等离体ＣＶＤ法制备的。