机译:外延金刚石膜的基础基板,外延金刚石膜的基础基板的制造方法,由该外延金刚石膜的基础基板制造的外延金刚石膜,以及外延金刚石膜的制造方法
公开/公告号US9353458B2
专利类型
公开/公告日2016-05-31
原文格式PDF
申请/专利号US20070225570
申请日2007-02-05
分类号C30B23/02;C30B25/10;C30B25/18;C30B29/02;C30B29/04;H01L21/02;C23C16/27;H01J37/32;H01J37/34;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:39