聚焦离了束装置中的图像采集与加工控制

摘要

本文介绍了聚焦离子束（ＦＩＢ）装置中图像采集及在微细加工及微区分析中的图形定位、控制、详细介绍了国产微通道板（ＭＣＰ）在图像显示中的特点、作用及其应用经验和效果，介绍了计算机支持下的图形加工控制与显示系统。