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公开/公告号CN103456588B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI公司;
申请/专利号CN201310211268.5
发明设计人 T.米勒;S.克罗格;S.张;M.马佐斯;A.格劳佩拉;
申请日2013-05-31
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人谭祐祥
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2022-08-23 09:46:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-07
授权
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20130531
实质审查的生效
2013-12-18
公开
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