聚焦离子束系统在微米／纳米加工技术中的应用

摘要

聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一，是一个完美的微米／纳米技术研究平台。简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能，着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以度无掩膜曝光等微米／纳米加工领域的应用，并对未来的发展前景进行了简要分析。