三维光学微结构聚焦离子束铣削加工技术研究

目录

声明

1 绪论

1.1 三维光学微结构研究背景

1.2 三维光学微结构加工技术研究现状

1.3 聚焦离子束加工技术简介及研究现状

1.4 论文研究内容及章节安排

2 三维微结构聚焦离子束铣削加工轮廓仿真研究

2.1 聚焦离子束铣削工艺模型建立

2.1.1 聚焦离子束铣削加工机理

2.1.2 聚焦离子束铣削加工工艺参数影响分析

2.1.3 聚焦离子束铣削加工理论模型建立

2.2 聚焦离子束铣削灰度图加工轮廓仿真模型建立

2.2.1 灰度加工简介

2.2.2 仿真模型建立

2.2.3 模型验证

2.3 本章小结

3 三维光学微结构聚焦离子束铣削实验研究

3.1 三维微结构FIBM加工实验设备及流程

3.1.1 实验设备

3.1.2 实验准备及流程

3.2 凹球面微透镜聚焦离子束铣削加工工艺参数影响分析

3.2.1 离子束电流

3.2.2 最大驻留时间

3.2.3 束斑重叠比

3.3 本章小结

4 三维光学微结构聚焦离子束铣削轮廓误差分析

4.1 三维光学微结构聚焦离子束铣削加工轮廓误差分析

4.1.1 凹球面微透镜轮廓误差分析

4.1.2 凸球面微透镜轮廓误差分析

4.2 三维光学微结构聚焦离子束铣削加工轮廓误差补偿

4.2.1 轮廓预测原位修形法

4.2.2 轮廓预测迭代优化法

4.2.3 补偿方法比较

4.3 本章小结

5 总结与展望

5.1 全文总结

5.2 工作展望

致谢

参考文献

附录1 攻读硕士学位期间申请的专利