一种基于聚焦离子束表征陶瓷涂层材料三维显微结构的方法

摘要

本发明公开一种基于聚焦离子束表征陶瓷涂层材料三维显微结构的方法，包括将陶瓷涂层材料加工成长条状样品；在长条状样品的目标区域沉积保护层；使用聚焦离子束将目标区域的周边剔除；在目标区域周围设置切片定位标记和拍照定位标记；设定聚焦离子束切片条件、消除荷电预处理条件和EBSD显微结构采集条件，消除荷电预处理为Ga离子束注入；利用聚焦离子束进行连续切片，在每次切片后对每个加工截面注入Ga离子束并收集EBSD图像；通过三维重构软件对一系列的EBSD图像进行三维重建，得到陶瓷涂层材料的三维显微结构。