基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制

摘要

介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的原理,详细分析了此系统的硬件设计、软件设计以及扫描场的校正过程.利用硬件获取扫描图像,并进行实时标记校正,利用软件进行标记位置识别和校正参数计算,满足了曝光机对准系统在性能和精度上的要求.在100 μm扫描场下进行拼接曝光实验,达到了77.3 nm(2σ)的拼接精度.