公开/公告号CN113707522A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中科科仪股份有限公司;
申请/专利号CN202110990901.X
发明设计人 李文龙;
申请日2021-08-26
分类号H01J37/244(20060101);H01J37/28(20060101);H01J37/317(20060101);
代理机构11505 北京布瑞知识产权代理有限公司;
代理人张欣
地址 100089 北京市海淀区中关村北二条13号
入库时间 2023-06-19 13:24:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-08
授权
发明专利权授予
机译: 电子束曝光机和电子束曝光罩
机译: 金刚石电磁辐射阴极,电子发射器,电子显微镜和电子束曝光机
机译: 金刚石电子发射阴极,电子发射源,电子显微镜和电子束曝光机