电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究

摘要

激光定位精密工件台系统是电子束曝光机中的关键子系统之一，其功能是在高真空条件下完成电子束曝光图形的拼接过程。 通过对工件台的测量需求分析，采用HP 5527双频激光干涉仪来构建工件台的位置测量系统，详细分析了双频干涉测量的各单元技术。根据测量需求和各单元技术要求，提出工件台系统的测量方案，完成了测量系统的布局、安装和调整，确定了工件台的坐标系设置和坐标计算方法。本双频激光干涉测量系统较以前系统，突出优点表现在：高稳定平面反射干涉仪对于光轴的任何偏斜只会使反射光束发生微小偏移而不产生偏斜；光学分辨力由以前的N2提高到N4；高分辨力测量板将光学系统测量分辨力提高256倍，从而实现了0.6nm的高分辨力。 详细分析了精密工件台测量系统的各种随机误差和系统误差，在此基础上，利用已安装调整好双频激光干涉测量系统，设计了误差数据的采集过程，得到了工件台的X、Y向总误差曲线和正交性误差曲线，提出了L镜的误差补偿方法。

目录

文摘

英文文摘

论文说明：图表目录

本人申明及关于学位论文使用授权的声明

第一章前言

第二章激光定位精密工件台系统工作原理及组成

第三章激光定位精密工件台测量系统

第四章激光定位静密工件台测量系统误差分析

第五章激光定位精密工件台系统误差补偿

第六章结束语

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文

致谢