电子束曝光机中精密工件台的技术进展

摘要

本文介绍了精密工件台在电子束曝光机中的主要作用及其构成;阐述了精密工件台在材料、导向、驱动、控制、测量、真空密封等方面所采用的新技术.目前应用在电子束曝光机中的精密工件台达到的最好技术指标是:激光干涉仪测量的最小分辨率为0.3nm;工件台的最大速度为400nm/s;最大加速度为1g;其最大行程可用以加工300mm直径硅片;最后指出了精密工件台的发展趋势-高速度、高精度、大行程.