TDSを用いたSOGの電子ビーム露光メカニズムの解析

摘要

本研究ではSOG の露光メカニズムをより詳細に明らかにするために、物質内部の結合状態を調査するのではなく、加熱することで試料内部から脱離する物質の分子量を調査することで試料内部の分子状態を調査することができるTDS 分析を用いて露光後に生成される物質を調べ、これを元に露光の反応メカニズムを検討した。