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电子束曝光机激光工件台测量系统研究

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摘要

由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要.介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪.对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法.

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来源
《电子工业专用设备》 |2005年第10期|19-23|共5页
作者
乔俊仙; 王肇志; 胡松; 余国彬;
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作者单位

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院研究生院,北京,100039;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
激光干涉仪; 工件台; 电子束曝光机; 误差分析;

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