微米、亚微米电子束曝光机工作台的吊装系统

摘要

一种微米、亚微米电子束曝光机工作台的吊装系统，属于光刻技术领域，由工作台、激光检测系统、真空箱、吊杆组成，其特征在于：镜筒、工作台、激光检测系统有共同的安装基准一真空箱顶板。大大减少了定位误差、图形误差，提高了套准精度和拼接精度，选用青花岗石做工作台大底座，刚性好、重量轻(为钢材的1/2.5)，价格便宜，工艺性好，选材方便。