electron beam lithography flexible electronics parylene C polymer MEMS;
机译:具有亚微米特征的聚合物bioMEMS的电子束光刻
机译:使用电子束光刻和光刻到图案亚微米互连电极阵列的有趣路径,用于传感应用
机译:电子束接近印刷—亚微米结构的高速光刻新方法
机译:用于亚微米集成电路制造的直接写入电子束光刻
机译:聚合物笔式打印:研究2D酶法光刻和打印3D碳特征的工具。
机译:用于在聚合物基底上生成微米和亚微米图案的微穿孔光刻技术
机译:通过直接写电子束光刻技术制备的亚微米调制掺杂场效应晶体管/金属半导体基光电子集成电路接收器
机译:结合和匹配光学,电子束和X射线光刻在制造具有0.1和低于0.1微米特征的si互补金属氧化物半导体电路中