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罗正全;
中国科学院光电技术研究所;
电子束曝光机; 输片机构; 自动控制系统; 亚微米;
机译:倍半硅氧烷抗蚀剂的电子束曝光机理的扫描X射线显微镜研究
机译:富勒烯衍生物电子束抗蚀剂的曝光机理
机译:电子束能量分布密度自动控制系统
机译:使用TDS分析SOG电子束曝光机制
机译:在亚微米CMOS中使用时间数字转换器和时差放大器的片上时域计量。
机译:亚微米级的填充方案:亚微米级等离子彩色滤光片的开发
机译:通过振动光谱研究和原位电子束诱导解吸研究氢倍半硅氧烷的电子束曝光机制
机译:电子束能量沉积和横向几何形状的传输。
机译:电子束曝光机和电子束曝光罩
机译:产生亚微米结构时自动进行电子束调整-基板上的扫描标记为电子处理提供信号
机译:自动输片反转机构
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