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郭忠君;
中国电子学会;
电子束曝光; 计算机控制; 硬件; 软件;
机译:最新动态MK《 ANTARES》团队开发了新一代VT02电子束炉,其装机容量为3.2 MW,年钛产能高达3000吨,其特点如下:容量为500的电子枪高频逆变器高压电源千瓦;电子束的现代化计算机控制系统,具有对技术参数的控制和注册功能。
机译:倍半硅氧烷抗蚀剂的电子束曝光机理的扫描X射线显微镜研究
机译:富勒烯衍生物电子束抗蚀剂的曝光机理
机译:使用TDS分析SOG电子束曝光机制
机译:亚微米电子束光刻的计算机可视化和邻近效应校正
机译:具有亚微米特性的聚合物bioMEMS的电子束光刻
机译:通过振动光谱研究和原位电子束诱导解吸研究氢倍半硅氧烷的电子束曝光机制
机译:用于制造空气桥接亚微米肖特基集电极的电子束光刻
机译:电子束曝光机和电子束曝光罩
机译:用于真空沉积组件的控制系统,具有计算机控制的偏转模块,用于电子束,以设置电子束扫描运动,以对整个基板表面进行一致的涂覆
机译:用于电子束控制系统的磁体的制造方法,以及由该磁体制造的用于电子束控制系统和电子束控制系统的磁体
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