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公开/公告号CN113296372B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;
申请/专利号CN202110566122.7
发明设计人 朱瑞;徐军;刘亚琪;张振生;俞大鹏;
申请日2021-05-24
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11360 北京万象新悦知识产权代理有限公司;
代理人王岩
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2022-08-23 13:02:40
机译: 扫描电子束装置。尤其是电子束测试设备或扫描电子显微镜-具有用于静电镜形式的二次电子束的偏转器,并使用光谱仪检测二次束
机译: 电子束辐射装置,具有基于电子束的偏移量来启动偏转器并使电子枪产生的电子束偏离的偏离控制,以及使电子束衍射的偏转器。
机译: 具有电子束的电子束,根据加速电极和电子束的静电偏转
机译:电子束微柱系统中用于电子束控制的磁性微偏转器的仿真与表征
机译:用于电子束微柱系统中电子束控制的新型磁性微偏转器
机译:利用高强度毫微微砂激光产生/加速电子束源的超快电子束衍射和偏转方法
机译:电子束微柱系统电子束控制的新型磁微偏转器
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:一种在乳房下垂全皮电子束治疗期间提高剂量均匀性的方法
机译:一种紧凑的控制系统,可实现基于谐振充电的重复强电子束加速器的稳定电压和低抖动触发
机译:具有X波段横向偏转器的超短电子束和X射线时间诊断。