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刘珠明; 顾文琪; 李艳秋;
中国科学院,电工研究所,北京,100080;
中国科学院,研究生院,北京,100039;
静电偏转器; 二阶有限元; 优化; 像差;
机译:电子束静电偏转系统的低噪声设计
机译:电子束静电偏转系统的低噪声系统设计
机译:使用TDS分析SOG电子束曝光机制
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:用于CMOS /纳米级忆阻器协同设计的小面积紧凑型CMOS仿真器电路
机译:用于扇形聚焦回旋加速器的静电偏转器的电气设计/
机译:用于建模静电透镜和加速器组件的光学元件:III。静电偏转器。
机译:触发器电路,用于通过使用弯曲的rueckkopplungs变压器和屏蔽栅栅来向电子束中的电子束偏转器产生锯齿形偏转电压或偏转电流
机译:扫描电子束装置。尤其是电子束测试设备或扫描电子显微镜-具有用于静电镜形式的二次电子束的偏转器,并使用光谱仪检测二次束
机译:静电偏转器和使用该偏转器的电子束装置
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