電子ビーム静電偏向システムの低ノイズ方式設計

摘要

電子やイオン等の荷電粒子ビームを用いた半導体製造·検査·計測装置および電子顕微鏡等の分析装置では，高速·高精度なビーム偏向制御技術が要求されている．ビーム偏向の高精度化に向けて偏向ずれを低減するには，偏向制御回路システムの低ノイズ化が必要である．本稿では，2段偏向機構を有する光学系の電子ビーム偏向軌道と偏向制御回路とをモデル化したノイズ伝播解析により，電子ビーム偏向ずれに対する偏向制御回路ノイズの影響についてメカニズムと寄与度を定量的に解明した．その結果，低ノイズ偏向制御回路方式として上下段偏向回路を共通化することによりビーム偏向ずれ量を2倍以上低減できることを明らかにした．