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电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

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摘要

介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理,阐述数字处理技术在对准系统中的应用,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计,并给出实际测试结果.

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来源
《微细加工技术》 |2002年第1期|10-12,65|共4页
作者
史强; 靳鹏云; 张福安;
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作者单位

中国科学院电工研究所,北京,100080;

中国科学院电工研究所,北京,100080;

中国科学院电工研究所,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
数字处理技术; 电子束缩小投影曝光机; 对准系统;

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