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缩小投影电子束曝光机的调试技术

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摘要

详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程.它充分利用了透射电镜本身的功能与特点.整个调试方法不仅可获得高分辨率图形,而且为下一步的研究工作提供了比较好的工作参数.

著录项

来源
《微细加工技术》 |2002年第4期|21-25|共5页
作者
彭开武; 张福安; 顾文琪;
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作者单位

中科院电工所,北京,100080;

中科院电工所,北京,100080;

中科院电工所,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
缩小投影电子束曝光; 调试; 透射电镜(TEM); 电子束曝光;

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