沉积和离子散射对亚微米SiO2刻蚀剖面控制的影响

摘要

本文阐述了在亚微米接触孔，通孔及沟槽的ＳｉＯ２刻蚀工艺中，沉积和离子散射对剖在贩影响。对多层结构ＳｉＯ２的刻蚀也进行了研究。