diamond NV center microstructure fabrication micro-optical devices;
机译:通过无掩模氧等离子体蚀刻制备亚微米级垂直排列的金刚石棒
机译:使用通过掩模图案各向同性蚀刻产生的减少的亚微米掩模制造场发射Si-tip阵列
机译:多晶金刚石的ICP蚀刻:用于AFM悬臂的金刚石纳米尖端的制造
机译:Ni-P,Ni-B和SiO_2作为深硅刻蚀中使用ICP反应器制造MEMS的硬掩模材料
机译:使用先进的相位掩膜技术对三维光子晶体模板进行激光全息制造
机译:通过ICP蚀刻制造和表征黑色GaAs纳米阵列
机译:10铝硬质掩模技术制造高质量亚微米Nb / al-alOx / Nb Josephson结
机译:Gaas晶圆制备亚微米沟道的双蚀刻技术及其在激光制备中的应用