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张自军; 徐向东; 刘颖; 邱克强; 付绍军; 洪义麟; 郭玉献; 徐鹏寿; 蔡建旺;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
安徽合肥230029;
中国科学院物理研究所磁学国家重点实验室;
北京100080;
光刻胶灰化; 全息光刻; 垂直驻波; 磁性微结构;
机译:全息光刻和反应离子刻蚀法制备纳米颗粒/聚合物复合材料中的亚微米结构
机译:利用DUV全息光刻技术制作亚四分之一微米光栅图案
机译:亚微米级周期性多孔细胞结构:全息干涉光刻制备的微框架。
机译:使用化学辅助离子束刻蚀和简单的光刻胶掩模制作具有干刻蚀面的InGaAsP / InP脊形波导激光器
机译:全息光刻技术对周期结构的制作和动态调整。
机译:红外诱导的具有3D亚微米周期性三角形屋顶型抗反射结构的磁电浆膜的磁性能变化
机译:通过反应离子刻蚀实现无光刻的高纵横比亚微米石英柱
机译:通过掩模离子束光刻和干蚀刻制造的亚微米结构
机译:采用自对准光刻蚀刻和注入工艺的自对准LDMOS制造方法集成了深亚微米VLSI工艺
机译:采用自对准光刻刻蚀和注入工艺的自对准LDMOS制造方法集成了深亚微米VLSI工艺
机译:非光刻蚀刻掩模,用于亚微米级功能
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