LB膜抗蚀层在光刻中的应用

摘要

本文概述了ＬＢ超薄抗蚀层用于光刻研究的历史及现状，指出：发展实用化的ＬＢ超薄抗蚀层技术对于微电子工业中深亚微米乃至纳米水平的微细加工具有重要的意义。