超精密机床位置伺服控制器的研究

摘要

介绍了自行研制的ＨＣＭ－１超精精同床位置伺服控制器的硬件结构和伺服控制策略。其中，硬件方面采用了基于ＰＣ总一的开放式的体系结构；伺服控制方面，则在双轴同步控制的基础上，采用了由单频激干涉 高精度光电码盘构成的双反馈复合控制算法，可实现半闭环和全闭环控制。实验结果表明，使用本位置伺服控制器的超精密机床的轮廓跟踪精度可达０．５μｍ。