蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工试验分析

摘要

为分析磨削加工对发光二极管蓝宝石衬底片背面减薄加工质量的影响,采用行业内主流的磨削设备进行磨削加工试验.在试验中,分析砂轮转速、磨削进给量、冷却水温度等对蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工质量的影响.试验表明,砂轮转速适当提高,有助于提高蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工的合格率,但若转速过高,则合格率反而会降低;蓝宝石衬底片 目标厚度不同,所采用的磨削进给量也不相同;在兼顾加工效率的情况下,薄尺寸蓝宝石衬底片适合低速进给,厚尺寸蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工时可适当提高进给速度;冷却水温度升高,蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工的合格率降低,冷却水温度不应高于29°C.